七星流量計是質量流量計/控制器的中國市場領軍品牌,擁有超40年研發制造精準穩定的流量測量控制設備經驗,研制精確地測量和控制的熱式、壓力式氣體質量流量產品,為各種市場應用提供流量測控解決方案。產品已經被廣泛用于半導體、燃料電池、太陽能、真空鍍膜、分析儀器等行業,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
產品中心
PC系列壓力控制器產品是基于CS系列產品先進技術研發的,其各項技術指標均嚴格按照SEMI標準,具有精度高,響應快,重復性好,使用便捷,易于通訊,擴展性和可兼容性強等優點。目前分為前壓控制和背壓控制兩種產品,除了配備標準的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。PC系列產品可應用于半導體、光伏、燃料電池以及其他控壓領域 。
流量顯示儀和積算儀用于為氣體質量流量控制器 (MFC)和質量流量計 (MFM) 提供工作電源、操作控制、流量設定和流量數字顯示和累計流量等,分為單通道及多通道,具有多個通道的流量顯示儀可以配多個MFC/MFM,它們可以相互獨立地工作。
閥門、管件,用在管路系統的連接或控制系統,它們之間是缺一不可的。七星流量計的閥門管件主要是為了與質量流量控制器系列產品做整體配套。目前,根據多年技術積累,七星流量計正在研制適用領域更廣的相關配套產品。
磁流體密封傳動裝置是在磁性流體技術上發展起來的密封技術。磁流體密封技術可用于工業機械、光纖光電、電子電器、醫療機械、冶金機械、石油化工等領域。廣泛應用于單晶爐、鍍膜機、真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐、刻蝕機、化學氣相沉積設備、電氣開關等真空傳動的密封部位。
磁流體密封技術的工作原理 當磁性流體注入到高性能的永久磁鐵、導磁性能良好的磁極及主軸所構成的磁回路中時,由于磁極齒尖處磁力場最強,磁流體集中處于齒尖處,在密封間隙內形成一系列液體“O”型密封環,將密封間隙充滿而達到密封的效果。
氣路盤是七星流量計開發的氣路輸送系統的解決方案,該產品通過對氣路原理圖的設計,加工和測試,以隔膜閥,調壓閥,壓力傳感器,過濾器,MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節,純度過濾,流量控制等功能,目前市場上常用的為傳統VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(Integrated Gas System),即IGS氣路盤,這兩種氣路盤業務七星流量計都有能力承接。
隨著半導體領域的發展,對零部件小型化的提出了更高的要求,傳統的VCR氣路盤難以滿足要求,IGS型氣路盤應運而生,它具有氣體直方向運輸,體積小,便于安裝維護等特點,是未來氣路輸送系統發展的方向;經過MFC多年研發經驗的沉積,七星流量計的IGS氣路盤具有高密封性,高精度,集成度高等優點,并可以依托七星流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進行研究測量,保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準確性。

D08-1FD單路顯示儀

D08-1F單路顯示儀

實心軸螺母安裝磁流體裝置

實心軸中法蘭安裝磁流體裝置

實心軸法蘭安裝磁流體裝置

空心軸通孔安裝磁流體裝置

空心軸法蘭安裝磁流體裝置
空心軸密封傳動裝置運用的典型例子就是濺射設備,其中例如電子,中性子或離子的注入用旋轉單元、旋轉物架以及X射線和光學機器。
空心軸密封傳動裝置有通孔型、法蘭型等,也可以按照用戶的要求進行特殊的設計或不帶卡箍。