CS系列產品采用了國際領先的技術,申報并獲得66項國家專利,其中PCT2項,發明專利24項。CS 系列產品的各項技術指標均嚴格按照SEMI標準,相對于模擬產品具有精度高,響應快,使用便捷，可實現功能多、易于通訊、擴展性和可兼容性強等優點。CS系列產品已被廣泛應用于半導體、太陽能、燃料電池、真空、分析儀器、光電、制氣、石化、醫療等行業。
產品中心
分類出來
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CS系列質量流量控制器&流量計
CS200質量流量控制器&流量計
CS200氣體質量流量控制器，采用先進傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品最快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。
CS300質量流量控制器&流量計
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
CS230質量流量控制器&流量計
CS230產品是七星流量計研發的中大流量產品,最高流量可達300SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品采
用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加出色,最多2秒的高速響應將使用過程中產生的系統誤差最小化,流量更加精準,產品具備低零漂、低溫漂性能,產品支持 DeviceNet,RS485通訊協議。
用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加出色,最多2秒的高速響應將使用過程中產生的系統誤差最小化,流量更加精準,產品具備低零漂、低溫漂性能,產品支持 DeviceNet,RS485通訊協議。
CS100質量流量控制器&流量計
CS100產品是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要選用符合自身需求的產品，同時其獨創的客戶零點補唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題，使產品更好的適應客戶環境。
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