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        DS系列質量流量控制器

        DS系列MFC是壓力式數字型產品，為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。產品支持標準IGS接口，可同時提供數字信號，0～5V模擬信號，可以使用雙電源（±8～±16 VDC）或單電源（+14～+28 VDC）。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件Digital MFC。產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

        產品名稱

        DS300質量流量控制器

        DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
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