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CS200質量流量控制器&流量計
優勢
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。
• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合國際通用的SEMI標準。
• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
技術參數
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CS200 |
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| 類型 |
CS200-A |
CS200-C |
CS200-D |
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閥類型 |
常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
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流量規格(N2) |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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準確度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S. |
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響應時間 |
≤ 1sec |
≤ 0.8sec |
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工作壓差范圍 |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa |
＜0.02 MPa |
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最大工作壓力 |
0.45MPa |
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溫度系數 |
零點： ≤±0.05% F.S./℃； |
零點： ≤±0.02% F.S./℃； |
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耐壓強度 |
3MPa |
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漏率 |
1×10-10 Pa·m3 / sec He |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
氟橡膠 |
金屬密封 |
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工作環境溫度 |
（5～45）℃ |
（0～50）℃ |
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輸入信號 |
數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus |
無 |
數字： RS485 |
無 |
數字： RS485 |
無 |
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輸出信號 |
數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT |
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零漂 |
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
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電源 |
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) |
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表面化學成分 |
常態 |
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） |
常態 |
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表面粗糙度 |
25 Ra |
10 Ra |
25 Ra |
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標準接頭形式 |
雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； |
雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； |
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電源接頭形式 |
D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 |
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重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
