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D07-7質量流量控制器&流量計
特點
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長
技術參數
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編號 |
類型 |
D07-7K 型 |
D07-7B 型 |
D07-7C 型 |
D07-7CM 型 |
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1 |
流量規格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
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(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
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2 |
準確度 |
±1 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
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3 |
線性 |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
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4 |
重復精度 |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
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5 |
響應時間 |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec
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電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
10 sec |
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6 |
氣壓降 |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
<0.01 MPa |
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7 |
工作壓差范圍 |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
<0.01 MPa |
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8 |
溫度系數 |
Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
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9 |
最大工作壓力 |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
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10 |
耐壓 |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
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11 |
工作環境溫度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
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12 |
輸入輸出信號 |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
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13 |
電源 |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA
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14 |
重量 |
1.1 kg |
1.1 kg |
1.1 kg |
0.92 kg |
