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CS330質量流量控制器&流量計
優勢
• 新型的金屬密封結構形式。該密封結構形式具有密封可靠、裝配工藝簡單、耐腐蝕等優勢，廣泛適用于各類氣體流量的測量。
• 體積小、零漂小、抗干擾能力強的傳感器。該傳感器采用上、下游對稱性結構設計，從而保證了傳感器的零漂小;傳感器內部設有保溫棉，極大程度降低了環境溫度對傳感器的影響，從而提高了傳感器的抗干擾能力，確保了氣體流量檢測的精度。
• 先進的人工智能機器人表面拋光技術。CS330系列產品金屬表面粗糙度可達0.1RA，嚴格按照SEMI標準生產制造。
• CS330系列產品支持±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支持數字，模擬輸入輸出。
• CS330系列產品支持多種電氣接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(側部、頂部);支持RS485，DeviceNet通訊方式。
技術參數
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CS330C、D |
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| 類型 |
CS330C、D |
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閥類型 |
常閉 |
無 |
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流量規格(N2) |
(100,200) SLM |
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準確度 |
±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S. |
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響應時間 |
≤ 1 sec |
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工作壓差范圍 |
100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM） |
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溫度系數 |
零點: ≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.1% F.S./℃ |
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最大工作壓力 |
0.45 MPa |
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耐壓 |
1 MPa (435pisg) |
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漏率 |
5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He） |
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密封材料 |
金屬 |
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工作環境溫度 |
（0～50）℃ |
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輸入信號 |
數字: RS485或 DeviceNetTM |
無 |
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輸出信號 |
數字:RS485或 DeviceNetTM |
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零漂 |
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
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電源 |
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極) |
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表面化學成分 |
常態 |
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標準接頭形式 |
VCR 1/2´´ |
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電源接頭形式 |
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭 |
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重量 |
2.6 Kg |
1.5 Kg |
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