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CS300質量流量控制器&流量計

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CS300質量流量控制器&流量計

CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。

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所屬分類

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產品描述

參數

優勢

• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 高端產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。

技術參數

CS300
類型	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
閥類型	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無
流量規格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa
溫度系數	零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3.5 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
最大工作壓力	0.45MPa
工作環境溫度	（0～50）℃
輸入信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無
輸出信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）				-
表面粗糙度	Ra 5μinch
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭		VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

型號	CS310C		CS320C
閥類型	常開或常閉	無	常開或常閉	無
流量規格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa
溫度系數	零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3.5 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金屬密封
最大工作壓力	0.45MPa
工作環境溫度	（0～50）℃
輸入信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無
輸出信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

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SC163 CS320C 中文使用手冊2023.1.pdf

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2023-02-09 14:35:03

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SC161 CS310D 中文使用手冊2023.1（不涉密）.pdf

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SC159 CS310C 中文使用手冊2023.1（不涉密）.pdf

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