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氣路系統
隨著半導體領域的發展，對零部件小型化的提出了更高的要求，傳統的VCR氣路盤難以滿足要求，IGS型氣路盤應運而生，它具有氣體直方向運輸，體積小，便于安裝維護等特點，是未來氣路輸送系統發展的方向;經過MFC多年研發經驗的沉積，七星流量計的IGS氣路盤具有高密封性，高精度，集成度高等優點，并可以依托七星流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進行研究測量，保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準確性。
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產品描述
參數
優勢：
? 提供定制化服務。
七星流量計具有IC級復雜氣路盤的設計能力，可以按照客戶的需求進行氣路盤的設計更改和定制化服務。
? 多年的MFC生產經驗，保證氣路盤的品質。
七星具有多年研發和生產MFC的經驗，可嫁接到氣路盤的設計和生產中，對氣路盤的裝配和測試工藝不斷優化，保證氣路盤的品質。
? 良好的性價比。
同等難度的氣路盤，七星流量計的價格低于同類競品。
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